一起了解涡轮分子泵和上海亚荣低温泵！
来源：未知
发布日期：2020-06-08 21:18【大 中 小】
YRDC-0506系列和DLSB-6/20低温冷却液循环泵都是上海亚荣生化仪器厂生产销售的低温泵，都是可以配套上海亚荣旋转蒸发器使用的，下面介绍下涡轮分子泵和上海亚荣低温泵！在半导体真空设备中，涡轮分子泵同样也应用十分广泛。其是利用分子牵引（高速刚体表面携带气体分子按一定方向运动的现象）以高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合实现抽气。涡轮分子泵为高真空泵，需配合前级泵使用，将其泵出口的气体抽走。涡轮分子泵内部结构比较复杂，主要故障有叶片或泵体损坏，异常振动和噪声，真空度问题，泵过热，分子泵转速波动超标或停机等。其中叶片或泵体损坏一般较为严重，需返厂维修。单纯泵的真空度问题原因较多，且出现概率较低，限于篇幅，不再赘述。
低温泵是利用低温表面冷凝和吸附气体的物理过程来获得和保持真空的装置（如下图）。
此图产品为上海亚荣生化仪器厂生产的的YRDC-0506系列低温恒温槽（低温泵），泵流量（L/min）：8。
上海亚荣生化仪器厂生产的低温泵系统主要组成部分包括制冷单元、压缩单元和辅助元件。制冷单元包括膨胀机，一、二级冷头，低温抽气冷阵和泵体。压缩单元由氦压缩机、换热器和油气分离器等构成。辅助单元则主要包括吸附器和阀门等辅助元件。真空泵是半导体真空设备的一个重要部分。真空泵运行情况的优劣直接影响设备的经济性和安全性。在以前的文章中对常见泵的故障现象和维修手段也有进行总结， 自己能及时发现故障和处理，保证设备安全经济运行。
